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應用案例

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潔凈氮氣柜CIN-900

發表時間:2023/10/17 14:36:30

產品應用:

適合半導體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現象; 由于普通的干燥存儲柜或者氮氣柜設計都為全封閉環境,且無自凈功能,故內部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品.

產品特性:

    ★4英寸超高亮數碼管顯示,可視距離30米,可加裝氮氣節約控制系統,可加裝報警系統

★無塵風機——采用進口無塵室專用FFU風機,鍍鋁鋅板材質,鋁合金葉輪,風速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB

★雙面護網高效過濾器——過濾效率高99.99%@0.3um。

★模組化設計溫濕度顯示器、控制系統、除塵系統及除靜電系統均能快速更換, 保養及維修簡便,大大提升維護效率。

技術參數: 

材質雙鏡面304不銹鋼

外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm

內尺寸: 1253W*1110H*650Dmm

除濕等級: 相對濕度可達到5%Rh以下 (配合充氮氣)

潔凈等級: ISO Class 2(百級) ISO Class 3(千級)

濕度顯示范圍: 0.1%RH-99.9%RH

濕度顯示范圍: -40℃-70.0℃-9.9℃以下顯示不帶小數點)

溫濕度顯示器精度: 相對濕度±3%Rh,溫度±1℃

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